Phù hợp với các tiêu chuẩn: IEST-RP-CC002.2 và AS1386.5 Tiêu chuẩn khí sạch: ISO14664.1 Class 3, IEST-CC1001, IEST-G-CC1002 và tiêu chuẩn khí sạch khác. Tiêu chuẩn màng lọc: IEST-RP-CC034.1, IEST-RP-CC007.1, IEST-RP-CC001.3 và EN1822. Độ sạch trong vùng làm việc: theo tiêu chuẩn ISO14644.1 Class 3